Temperatura in vlažnost laboratorijskega gradbenega prostora se v glavnem določata v skladu s procesnimi zahtevami, vendar je treba pri izpolnjevanju zahtev procesa upoštevati raven človeškega udobja. Z izboljšanjem zahtev za čiščenje zraka je prišlo do vedno strožjega povpraševanja po temperaturi in vlažnosti procesa. Posebne zahteve procesa za temperaturo bodo navedene kasneje, vendar kot splošno načelo zaradi vedno bolj natančne natančnosti obdelave postajajo zahteve za temperaturno nihanje manjša in manjša.
Na primer, v procesu litografije obsežne proizvodnje integriranega vezja je treba razliko v koeficientu toplotnega raztezanja med steklom in silicijskim rezilom kot materialom maske zmanjšati in zmanjšati. 100-milimetrski silikonski rezervoar, dvig temperature 1 stopinjo, povzročil linearno ekspanzijo 0,24um, mora imeti konstantno temperaturo ± 0,1 stopinj, medtem ko je zahtevana vrednost vlažnosti na splošno nižja, ker se ljudje znojijo, izdelek bo onesnažena, še posebej se boji sodobne polprevodniške delavnice, ta delavnica temperatura ne sme presegati 25 stopinj, problem pretirane vlažnosti povzroča več težav. Ko relativna vlažnost preseže 55%, se na cevi hladilne vode tvori kondenzacija. Če se zgodi v natančni napravi ali vezju, povzroči različne nesreče.
Regulacija tlaka
Za večino čistih prostorov je treba ohraniti notranji tlak (statični tlak) višji od zunanjega tlaka (statični tlak), da se prepreči vdor zunanjega onesnaženja. Ohranjanje razlike v tlaku mora na splošno ustrezati naslednjim načelom:
1. Tlak čiste površine je višji od tlaka nečistega prostora.
2. Tlak visoke čistoče je višji od tlaka sosednje nizke ravni čistoče.
Vzdrževanje tlačne razlike je odvisno od količine svežega zraka, ki lahko izravnava količino izteka zraka iz razdalje pod to razliko tlaka. Zato je fizični pomen razlike v tlaku odpornost na puščanje (ali penetracijo), ko prostornina zraka prehaja skozi različne vrzeli v čisti prostori.
Regulacije hitrosti zraka v čisti sobi
Hitrost pretoka zraka, ki jo je treba obravnavati tukaj, se nanaša na hitrost pretoka zraka v čisti prostori. Hitrost pretoka zraka v drugih čistih prostorih je obravnavana pri razpravi o določeni opremi.
Za turbulentno čisto sobo Ker se glavni del predvsem zanaša na redčenje zraka, da se zmanjša stopnja onesnaženosti v zaprtih prostorih, se koncept števila sprememb zraka večinoma uporablja namesto neposredno s konceptom hitrosti, vendar obstajajo tudi naslednji zahteve za hitrost zraka v zaprtih prostorih;
(1) Hitrost zraka na izstopu iz izpušne cevi ne sme biti prevelika. V primerjavi s preprostim klimatiziranim prostorom potrebuje hitrejšo dušenje hitrosti in večji kot razpona.
(2) Hitrost pretoka zraka (npr. Hitrost vračanja v času bočnega hranjenja), ki se piha nad vodoravno ravnino, ne bi smela biti prevelika, da ne bi vdihnili površinskih delcev, da bi se vrnili v pretok zraka in povzroči ponovno kontaminacijo. Ta hitrost običajno ni priporočljiva, da bi bila tako velika kot 0,2 m / s.
Pri čistem prostoru s paralelnim tokom, ki se običajno imenuje laminarna čista soba, je hitrost preseka zelo pomemben kazalnik, ker se bat uporablja predvsem za pretok zraka, da se barvanje ne izključi. V preteklosti se je sklicevala na standard 20gB Združenih držav in 0,45. gospa. Ampak ljudje so tudi izvedeli, da je količina prezračevanja, ki je potrebna za tako veliko hitrost, zelo velika. Da bi prihranili energijo, si želijo tudi možnost zmanjšanja hitrosti vetra.
Na Kitajskem sta tako ukrepi Air Cleantech kot Design Cleanroom
Vertikalni paralelni tok (laminarni tok) čista soba ≥0.25m / s
Horizontalni vzporedni tok (laminarni tok) čista soba ≥ 0,35 m / s
Nadzor hrupa
Standardi hrupa za čisto laboratorijsko konstrukcijo so na splošno strožji od tistih za varovanje zdravja. Namen je zagotoviti, da se operacije izvajajo normalno in da so izpolnjeni potrebni pogovorni stiki ter varno in udobno delovno okolje. Zato je glavni kazalnik hrupa v čisti sobi.
1. Učinek težav
Zaradi hrupa se ljudje počutijo nemirne in imajo težave s čustvi. Na splošno so razdeljeni v zelo tiho, zelo tiho, tiho, rahlo hrupno, razmeroma hrupno in izjemno hrupno. Kjer je stopnja odziva zelo hrupna in izredno hrupna, je visoka anksioznost in odstotek velikega števila težav v skupnem številu je visoka stopnja tesnobe.
2. Vpliv na učinkovitost dela
To je odvisno predvsem od stopnje odziva na treh področjih. Ti trije vidiki so: koncentracija, natančnost delovanja in hitrost dela;
3. Poseganje v integrirano komunikacijo